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DNK大日本科研
大日本科研(DNK)wafer爆光燈房
產(chǎn)品型號:MA-5301ML
產(chǎn)品品牌:DNK大日本科研
產(chǎn)品介紹:
大日本科研(DNK)是一家日本的科技公司,其正式名稱為株式會社大日本科研(Japan Science Engineering Co., Ltd.)。以下是關(guān)于該公司的詳細(xì)介紹:
詳細(xì)介紹
大日本科研(DNK)是一家日本的科技公司,其正式名稱為株式會社大日本科研(Japan Science Engineering Co., Ltd.)。以下是關(guān)于該公司的詳細(xì)介紹:
主要特長
搭載本公司**的鏡面光學(xué)系統(tǒng)爆光燈房(LAMP HOUSE)。從而實(shí)現(xiàn)了照射面內(nèi)的均勻性以及高照度。
采用本公司**的同軸對位方式和高速圖像處理技術(shù), 從而實(shí)現(xiàn)了高精度對位。還支持IR方式和背面方式。
通過本公司**的光學(xué)式間隙傳感器,可在非接觸狀態(tài)下高速、**的設(shè)定掩膜和基板間的近接間隙。
搭載有掩膜更換機(jī)。*多可自動更換20張掩膜。
*多可搭載3臺片倉(Load port)。
主要規(guī)格
MA-5301ML
Wafer尺寸
?300mm
對位
非接觸預(yù)對位~自動對位
光源
超高壓水銀燈:3.5kW
本體尺寸
W 2450 × D 2400 × H 2300 mm
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