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大日本科研（DNK）wafer尺寸300爆光燈房
產(chǎn)品型號：MA-5301ML
產(chǎn)品品牌：DNK大日本科研
產(chǎn)品介紹：

大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名稱為株式會社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是關(guān)于該公司的詳細介紹：
詳細介紹

大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名稱為株式會社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是關(guān)于該公司的詳細介紹：
主要特長

  • 搭載本公司**的鏡面光學系統(tǒng)爆光燈房（LAMP HOUSE）。從而實現(xiàn)了照射面內(nèi)的均勻性以及高照度。
  • 采用本公司**的同軸對位方式和高速圖像處理技術(shù), 從而實現(xiàn)了高精度對位。還支持IR方式和背面方式。
  • 通過本公司**的光學式間隙傳感器，可在非接觸狀態(tài)下高速、**的設(shè)定掩膜和基板間的近接間隙。
  • 搭載有掩膜更換機。*多可自動更換20張掩膜。
  • *多可搭載3臺片倉（Load port）。
?300mm 兼容曝光機

主要規(guī)格

MA-5301ML
Wafer尺寸 ?300ｍｍ
對位 非接觸預對位～自動對位
光源 超高壓水銀燈：3.5kW
本體尺寸 W 2450 × D 2400 × H 2300 mm