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Otsuka大塚分光干涉式晶圓膜厚儀
產(chǎn)品型號(hào)： SF-3
產(chǎn)品品牌：Otsuka大塚
產(chǎn)品介紹：

即時(shí)檢測(cè) WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強(qiáng)酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè) 采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性
詳細(xì)介紹
分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3

即時(shí)檢測(cè) WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強(qiáng)酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè) 采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性 可進(jìn)行高速...


即時(shí)檢測(cè)

WAFER基板于研磨制程中的膜厚

玻璃基板(強(qiáng)酸環(huán)境中)于減薄制程中的厚度變化

產(chǎn)品特色

● 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè)
● 采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性
● 可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測(cè)
● 可穿越保護(hù)膜、觀(guān)景窗等中間層的檢測(cè)
● 可對(duì)應(yīng)長(zhǎng)工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線(xiàn)或者設(shè)備中
● 體積小、省空間、設(shè)備安裝簡(jiǎn)易
● 可對(duì)應(yīng)線(xiàn)上檢測(cè)的外部信號(hào)觸發(fā)需求
● 采用*適合膜厚檢測(cè)的獨(dú)自解析演算法。(已取得**)
● 可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)
規(guī)格