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KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室
產(chǎn)品型號(hào):SEF800-N臺(tái)階儀微觀輪廓測量儀器
產(chǎn)品品牌:KOSAKA小坂研究所
產(chǎn)品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創(chuàng)業(yè)以來,一直以使用精密工程學(xué)技術(shù)被信賴的“技術(shù)”為口號(hào),開發(fā)、銷售商品群。擁有以形狀測量機(jī)為中心的精密機(jī)器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機(jī)器、以及半導(dǎo)體制造相關(guān)裝置、自動(dòng)包裝機(jī)等自動(dòng)設(shè)備三個(gè)領(lǐng)域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細(xì)介紹

SEF800-N

表面粗さ測定機(jī)と輪郭形狀測定機(jī)を一體化したもので、粗さうねり評(píng)価と形狀評(píng)価を1臺(tái)で行うことができます。

  • 表面粗さ測定
    • 各國規(guī)格に対応しています。
    • 縦軸と橫軸の自動(dòng)校正機(jī)能を裝備。
    • 自動(dòng)で測定から印刷まで実行。
  • 輪郭形狀測定
    • 多斷面形狀解析。
    • 「ワンキー操作」方式の強(qiáng)力なマクロ機(jī)能。
    • 測定操作サポート。

表面粗さ

測定範(fàn)囲/分解能 Z:600μm/0.04nm
送り速さ 0.05~2mm/s
觸針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形狀

測定精度 Z:±(1.0+l0.04× Hl)μm以下  H:変位(mm)
X:±(1.0+0.02L)μm以下  L:測定長さ(mm)
測定範(fàn)囲 Z:±30mm  X:100mm
觸針 R25μm  10~30mN
它集成了表面粗糙度測量機(jī)和輪廓形狀測量機(jī),一個(gè)單元可以進(jìn)行粗糙度起伏評(píng)估和形狀評(píng)估。

表面粗糙度測量
它支持國家標(biāo)準(zhǔn)。

配備垂直軸和水平軸自動(dòng)校準(zhǔn)功能
自動(dòng)測量到打印


輪廓形狀測量

多裁面形狀分析

強(qiáng)大的宏功能,“一鍵操作”方式
測量操作支持


株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創(chuàng)立的公司,也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

設(shè)備特點(diǎn):
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計(jì),粗度儀

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機(jī)

KOSAKA小壇輪廓儀

KOSAKA小坂臺(tái)階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細(xì)深孔測量裝置
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關(guān)節(jié)管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設(shè)備

KOSAKA小坂高精度貼片機(jī)

KOSAKA小坂傳感器